【冲破美国半导体封锁禁令!中国据称将实现DUV光刻机国产化】

  据科技媒体《信息报》援引消息人士报导称,一家总部位于上海的中国公司已开始限量生产沉浸式深紫外光刻机。这家公司计划今年生产5套系统以供交付,预计到2027年生产约20台沉浸式深紫外光刻机。

  自2019年起,美国禁止向中国出口最先进的极紫外(EUV)光刻机,并从2023年开始禁止向中国出口浸没式DUV设备。中国自2019年起便致力于光刻机的国产化,经过7年的努力,终于实现了DUV的国产化。